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精密行星減速機的安裝步驟如下：

1、確認電機和減速機是否完好無損，并且嚴格檢查驅動電機與減速機相連接的各部位尺寸是否匹配。這里指的是驅動電機法蘭的定位凸臺和軸徑與減速機配件，即法蘭的定位凹槽和孔徑間的尺寸及配合公差。

2、旋下減速機（低側隙減速機）法蘭側面的工藝孔上的螺堵，旋動減速機的輸入端，使抱緊內六角螺釘帽與工藝孔對齊，插入內六角工具旋松抱緊內六角螺釘。

3、手持驅動電機，使其軸上之鍵槽與減速機輸入端孔抱緊螺釘垂直，將驅動電機軸插入減速機輸入端孔。插入時必須保證兩者同心度一致和二側法蘭平行。如同心度不一致或二側法蘭不平行必須查明原因。判斷兩者配合同心度和法蘭平行的方法為：兩者相互插入后，兩者法蘭基本貼緊，縫隙一致。

4、為保證兩者法蘭連接受力均勻，先將驅動電機緊固螺釘任意旋上，但不要旋緊；然后按對角位置逐漸旋緊四個緊固螺釘；最后旋緊減速機輸入端孔抱緊螺釘。

5、重復檢查減速機的安裝面是否水平，并確認減速機無異常。

6、安裝行星輪架，確保行星輪架與內齒圈的對中性。調整行星輪架的安裝位置，以獲得最佳的齒輪接觸。調整行星輪架的固定螺栓，確保行星輪架牢固固定。

7、確認齒輪接觸是否良好，并對行星輪架進行調整，以確保齒輪接觸達到最佳狀態。確認減速機的所有部件都已牢固固定，然后將密封件安裝在減速機的端蓋上。

8、檢查減速機是否水平，確認無誤后，將減速機蓋板裝上并固定。

9、連接電源并啟動電機，檢查減速機是否運行正常。

以上步驟僅供參考，如遇無法解決或不確定性的問題建議咨詢專業人士。